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">Newsnet 2022-09-26 12:21
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    产品详情
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    • 产品型号:CY-MIOP500S-2TA
    • 产品厂商:成越科仪
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    简单介绍:
    实验室多弧离子镀镀膜仪是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上,实验室多弧离子镀镀膜仪十分适合镀硬质保护膜如TiN等
    详情介绍:

    CY-MIOP500S-2TA多弧离子镀镀膜仪

    多弧离子镀是利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快,薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等优点。十分适合镀硬质保护膜如TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色,且膜层与基板结合牢固,故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。

    设计特色

    本设备配有两个多弧靶,分置于腔体两侧。配合行星式样品台可有效的提高镀膜效率,改善成效果,该镀膜仪还采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的安全。 


    产品型号

    CY-MIOP500S-2TA

    真空腔体

    水冷不锈钢腔体

    φ500mm X 490mm(H)

    前开门式,配有φ100mm石英观察窗

    内置两组红外加热灯,可对腔体烘烤除气

    预留多个CF接口,可安装多路膜厚仪

    进气系统

    质量流量计Ar气0~200sccm,

    N2气0~200sccm其他流量或者气体可定制

    供电要求

    AC 220V 50Hz  10kW

    控制方式

    15英寸触控屏 组态控制软件

    多弧靶

    数量规格

    3英寸x2

    安装方式

    腔体侧方对置

    工作电流

    0~150A

    靶材厚度

    max50mm,min20mm

    样品

    规格

    行星式挂架

    可悬挂样品数

    每支挂架上6个挂点,共计6个挂架

    转速

    公转转速1~20rpm

    真空系统

     

    产品型号

    CY-GZK103-A

    分子泵

    涡轮分子泵

    前极泵

    双极旋片泵

    抽气速率

    分子泵:600L/S

    综合抽气性能:30分钟真空度可达:5×10E-3Pa

    旋片泵:1.1L/S

    极限真空

    5×10E-4Pa

    抽气接口

    KF40

    排气接口

    KF16

    真空测量

    复合真空计

     

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